(1)对于泄漏气体密度小于空气密度的介质，应将报警器安装在泄漏点上； 

(2)依据现场气流方向、风向等具体因素，判断当发生大量气体泄漏时，可燃气体的流动方向。 

(3)现场确定泄漏点的位置，分析泄漏点的泄漏压力、方向等因素，标出气体探测器位置分布图，便于以后安装； 

(4)研究泄漏点的泄漏状态是微漏还是喷射状。如果是微漏，则安装位置就要靠近泄漏点一些。如果是喷射状泄漏，则要稍远离泄漏点。综合这些状况，拟定出蕞终设点方案。

(5)依据泄漏气体的密度(大于或小于空气)，结合空气流动趋势，从而确定下游位置作出初始设点方； 

(6)对于存在较大可燃气体泄漏的场所，根据有关规定每相距10—20m应设一个检测点。对于无人值班的小型且不连续运转的泵房，需要注意发生可燃气体泄漏的可能性；

(7)对于开放式可燃气体扩散逸出环境，如果缺乏良好的通风条件，也很容易使某个部位的空气中的可燃气体含量接近或达到爆i炸下限浓度，这些地方是不可忽视的安全监测点 ；

(8)对于气体密度大于空气的介质，应将检测器安装在低于泄漏点的下方平面上，并注意周围环境特点。对于容易积聚可燃气体的场所应特别注意安全监测点的设定。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

1988年以前，我国的用氧都是由制氧厂采用深冷法分离空气按照《工业用气态氧》标准生产的工业用氧气。随着我国卫生事业的日益发展和人民健康水平的不断提高，对氧气的质量要求在不断提高，继续把含有游离水、卤素等对人体有害杂质的工业用氧气用于和保健，显然已不符合人体健康要求。为此，1988年4月12日，国家标准总局颁布了GB 8982-1988《氧气》国家标准，并于同年12月1日开始实施。该标准规定了氧气氧含量≥99.5%，同时对水份、二氧化碳、1氧化碳、气态酸和碱、臭氧和其他气态化合物含量及气味作了规定。

氧气和工业氧气的区别在于对氧气中水分的控制。我们生活中常常有这样的经验，经表面光洁，没有生锈的铁放在露天很长时间也不会生锈，可是一场大雨过后就会锈迹斑斑。这是因为氧气在有水存在下的时候才会使大量的铁分子氧化。并且铁氧化后不仅会有铁锈还有氢气等其他对人体有害的气体被排出。铁被氧化后形成铁锈，铁锈很疏松，很容易形成小颗粒混入氧气中。被吸入，从而引起等呼吸道的损伤。所以氧气生产上大程度的降低氧气中的水分含量是极其重要的。