半导体集成电路制造所需要的高纯气体主要分为两大类：
1.普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。
2.特种气体：主要指各种掺杂用气体、外延用气体、离子注入用气体、刻蚀用气体等。
半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：
1.可燃、助燃、易然易暴气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等
2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等
3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等
4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等
5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等
针对不同的场所怎么设定氧气报警仪的报警值？首先看一下有关标准的规定。
1、 《电力行业缺氧危险作业监测与防护技术规范》DL/T1200-2013）
缺氧环境作业场所空气中的氧含量低于19.5%的环境。6.4.1 氧含量。作业场所氧气浓度应符合GB8958的要求，不得低于19.5%。
2 、《缺氧危险作业安全规程》（GB8958-2006）
缺氧作业场所空气中的氧含量低于0.195的状态。
3 、《深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程》（GB16912-2008）
进入冷箱检修前，应切断气源，用空气置换内部气体，扒出检修部位的保温材料，经分析冷箱内氧含量在19.5%～23%范围内，人员方可入内。
关于标准气体的用途，大家应该都非常的了解了，它可以用在我们生活中的很多领域，并且发挥非常重要的作用，下面我们就来了解一下它的相关知识吧。
标准气体是已知准确浓度的某种或某几种待测物质的空气或惰性气体化合物。在空气理化检验工作中，标准气体广泛用于空气污染物的定性分析、定量分析和质量控制工作。评价分析方法的准确性、评价采样方法的效率、校正分析仪器时都需要标准气体。
静态配气法的特点是除高压钢瓶配气法外，静态配气法具有设备简单进，操作方便，标准物质和稀释气体的用量小等优点。
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