高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU)，为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管，经电解拋光(Electro-Polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
高纯NO气体中主要杂质为N2O、NO2、CO2 、N2及硫化物，在配制用标气时，通常NO浓度为800 ppm左右)，NO2是重点控制的杂质指标，否则，将酿成严重的事故，国内曾发生NO标准气体中NO2超标，导致呼吸险些致命的事故，NO标准气体中NO2超标的原因有二：
一、高纯NO气体中杂质NO2本身就超标，纯气NO 中NO2的检测多采用化学法，检测比较麻烦，国内许多NO厂是不具备条件，这样NO 中NO2的含量就失去控制的，而在NO合成时NO2是极易超标的。
二、配制标准气体配制时所用底气不纯，含氧量高，或气瓶、系统臵换不彻底甚至漏气，而NO极易同O2反应，生成NO2（NO+O2-----NO2）。
解决方式：
一、采用NO提纯装置将所用的原料NO进行在线提纯。
二、对平衡气体N2采用高压脱氧净化。
通过以上方式，可有效的保证用NO标准气体的质量，通过新旧方法对比，标准气体的质量明显进步。
气体产品大至可以分为两大类别，即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大，但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。特种气体因种类 很多，又可以分为三类，即高纯气体、标准气体和电子特种气体。
1、高纯气体
高纯气体通常指利用现代提纯技术能制取的某个纯度等级的气体，纯度等级可以不同。
2、一般混合气体
由两种以上气体混台配制而成的气体，而且主要标出大致浓度，即可满足使用要求，这种气体称为一般混合气体。
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